證券時報記者 王一鳴

1月23日晚間，中微公司（688012）發布2025年年度業績預告。

經財務部門初步測算，公司預計2025年營業收入約123.85億元，同比增長約36.62%；預計歸母凈利潤為20.80億元至21.80億元，同比增長約28.74%至34.93%；預計扣非凈利潤為15億元至16億元，同比增長約8.06%至15.26%。2025年公司刻蝕設備銷售約98.32億元，同比增長約35.12%；LPCVD和ALD等半導體薄膜設備收入5.06億元，同比增長約224.23%。

對于業績增長原因，中微公司認為，公司主營產品等離子體刻蝕設備作為半導體前道核心設備之一，市場空間廣闊，技術壁壘較高。公司的等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶認可，針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現量產。

新產品開發方面的顯著成效亦促進了業績增長。據介紹，公司近兩年新開發出十多種導體和介質薄膜設備，目前已有多款新型設備產品進入市場，其中部分設備已獲得重復性訂單，LPCVD設備累計出貨量突破三百個反應臺，其他多個關鍵薄膜沉積設備研發項目正在順利推進；公司EPI設備已順利進入客戶端量產驗證階段。

同時，公司持續保持國際氮化鎵基MOCVD設備市場領先地位，積極布局用于碳化硅和氮化鎵基功率器件應用的市場，并在Micro LED和其他顯示領域的專用MOCVD設備開發上取得了良好進展，幾款MOCVD新產品進入客戶端驗證階段。“公司新型8英寸碳化硅外延設備、新型紅黃光LED應用的設備已付運至國內領先客戶開展驗證，目前進展順利。”中微公司表示。

產能方面，公告顯示，公司在南昌約14萬平方米的生產和研發基地、上海臨港約18萬平方米的生產和研發基地已經投入使用，保障了公司銷售快速增長。公司持續開發關鍵零部件供應商，推動供應鏈穩定、安全，設備交付率保持在較高水準，設備的及時交付也為公司銷售增長提供有力支撐。公司特別重視核心技術的創新，始終強調創新和差異化并保持高強度的研發投入，同時公司運營管理水平持續提升，對產品成本及運營費用的控制能力有效增強。

據披露，由于市場對中微開發多種新設備的需求急劇增長，2025年公司顯著加大研發力度，以盡快彌補國產半導體設備短板。2025年公司研發投入約37.36億元，較上年增長12.83億元（增長約52.32%），2025年研發投入占公司營業收入比例約為30.16%。